パソコン・携帯電話・テレビなど液晶ディスプレイ等の加工
現行5工程のウエット方式から、1工程のドライ方式へ

福井県地域結集型共同研究の成果を活用した新方式!


 先進的な物作りに絶えず挑戦しているマツウラは、文部科学省・科学技術振興事業団の 「福井県地域結集型共同研究事業」で大阪大学・福井大学・松下電工・福井県工業技術センターと共同研究を実施して、 金属光造形機とマシニングセンタの持つ機能を複合一体化した試作機を開発しました。

 さらに、これらの研究事業を基礎として新しく、この一連の研究開発事業による基礎研究成果の一部を活用し 「精密フラットパネル材料のドライエッチング加工装置の開発」をテーマとした産学官の共同研究事業に取り組むことになりました。

 この研究事業は、パソコンや携帯電話、テレビなどの液晶ディスプレイ等の製作に欠かせない、 透明電極薄膜のエッチング加工(表面を削り取る加工)で、従来の化学溶剤を使うウエット方式ではなく、 短パルスレーザを使った環境負荷低減型のドライ方式を採用した加工装置を、研究開発するものです。

 この装置は、従来5工程で行われていたフラットパネル材のエッチング加工を、短パルスレーザとリニアステージとを融合させることにより、 熱影響のない高品位で高精度な直接描画方式のドライエッチング加工の1工程で出来る画期的な機能を持たせようというものです。

 この研究開発事業のくわしくは、次号以降でお知らせする予定です。


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