乾式による薄膜エッチング技術開発にマツウラは最先端MCで参画―
マツウラと福井県工業技術センターは、福井大学などの協力をえて、ウエットエッチング工程に替わる方法として、
世界に先駆けて短波長パルスレーザーパターニングによる薄膜のエッチング技術を開発、
この4月に発表公開しました。
Nd:YLFレーザー第3高調波によるレーザーエッチングの実用化は、世界初の快挙となります。
財団法人福井県産業支援センターでは、「光ビームによる機能性材料加工創成技術開発」の産学官プロジェクト研究を、
科学技術振興事業団の委託事業「地域結集型共同研究事業」として、平成13年1月から行っています。
その研究開発の一環として、世界最先端のレーザー技術となる「フェムト秒パルスYb:YAGレーザーおよびフォトンマシニングセンタの開発」
などを目指しており、このたびの成果は、新たな先端機能性材料の加工創成技術に向けての大きなステップとなりました。
これらの研究開発の中核拠点が、福井県工業技術センターで、この地域結集型共同研究事業(本誌、平成13年3月号で既報ずみ)
にマツウラも中核企業として参加しています。
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